Beste Performance

Elektronik- und Halbleiterindustrie

Elektronik

Forschung mit GDOES

Die intensive Forschung in den Bereichen Halbleitertechnologie und Energiespeichersysteme hat die rasante Entwicklung der Elektrotechnik vorangetrieben. Halbleiter sind der Grundwerkstoff für wichtige Bauteile wie Transistoren und integrierte Schaltkreise. Die genaue Kenntnis des Konzentrationsverlaufs, der Eindringtiefe von Fremdatomen und der Schichtdicken ist für die Herstellung und Verarbeitung von Halbleitern unerlässlich. Lithiumionen-Batterien (LIB) sind aufgrund ihres niedrigen Gewichts, hoher Energiedichte und langer Entladungszeit im Ruhezustand die beliebtesten Stromquellen für tragbare elektronische Geräte. Die Untersuchung der Passivierungsschicht, auch bekannt als "solid electrolyte interface" (SEI), die sich während der Ladungs-/Entladungszyklen bildet, ist von großem Interesse, da sie die Leistungsfähigkeit und Haltbarkeit von LIB beeinflusst. Daher ist die genaue Analyse der Schichtdicke und chemischen Zusammensetzung der SEI und der Elektroden von großer Bedeutung.

Höchste Genauigkeit

Messung der Dicke von ultradünnen Schichten/ Dünnschichten und Bestimmung des Gewichts von Schichten.

Oberflächen­analyse

Messung der chemischen Zusammensetzung von Schichten, Substraten und komplexen Bulkmaterialien.

Glimmentladungsspektrometer von Spectruma® bieten die Möglichkeit, Konzentrationsverläufe, chemische Zusammensetzungen und Schichtdicken gleichzeitig zu analysieren.

  1. Präzise und Nachweisstarke Detektion von Wasserstoff, Deuterium und Tritium

  2. Äußerst empfindliche Messungen durch Nachweisgrenzen im Bereich von 0,1 bis 10 ppm

  3. Präzise Messung von Schichtdicken weniger Nanometer bis zu einigen hundert Mikrometer

  4. Relative Tiefenauflösung beträgt 5-10 % der absolut erreichten Tiefe in allen oberflächennahen Schichten

  5. Bestimmung von Spurenmengen mit Nachweisgrenzen zwischen 0,1 und 10 ppm
  6. Programmierbare Software erkennt gewünschte Bedingungen wie Konzentrationsgrenzen oder Schichtdicken

Die GDA-Serie

Unendliche Möglichkeiten –
Wir bringen Licht in jede Schicht.