Konfigurationen GDOES

Tiefenmess-
system

DMS

Produktbeschreibung

Das Spectruma Tiefenmesssystem, kurz DMS (Depth Measuring System), ist eine spannende Neuentwicklung von Spectruma. Das DMS nutzt kohärentes Laserlicht, bei dem die Lichtwellen in einer festen Phasenbeziehung zueinander stehen. Das Laserlicht wird auf den Brennfleck der Probe gerichtet und von dort reflektiert. Der Materialabtrag während der Analyse verändert die optischen Wege und verursacht eine Phasenverschiebung zwischen den Lichtwellen. Diese Verschiebung erzeugt Interferenzeffekte, die beim Zusammenführen der Lichtwellen detektiert werden. Der Sensor des DMS erfasst die Intensitätsänderungen und liefert eine präzise Tiefenprofilanalyse in Echtzeit. Das DMS lässt sich problemlos in bestehende Analysegeräte integrieren oder in neue Geräte einbauen.

Durch den Einsatz fortschrittlicher Interferenzverfahren ermöglicht das DMS präzise Echtzeit-Tiefenmessungen während der Analyse.

Vorteile

  1. Direkte Tiefenmessung: Überwachung des Materialabtrags in Echtzeit
  2. Unterschiedliche Anodendurchmesser: 8mm, 4mm
  3. Modernes Interferenzverfahren: Präzise und zuverlässige Messungen.
  4. Großer Tiefenbereich: Schichtdicken von 50 nm bis 200 μm.
  5. Einfache Integration: Problemlose Anpassung an bestehende Geräte.